14 нанометров
14 нанометров (14 нм) (англ. 14 nanometer (14 nm)) — название технологии изготовления полупроводниковых схем, последующее за технологией 22 нм/20 нм. Термин «14 нанометров» был применен к технологии в соответствии международной Технологической дорожной картой для полупроводников (англ. International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS).
Использование технологии «14 нанометров» позволит создавать микросхемы с большим количеством электронных элементов на единице площади, что в свою очередь позволит увеличить емкость флеш-памяти, создавать процессоры с большим количеством ядер, разрабатывать более тонкие устройства и т.д. Первые микросхемы в технологии 14 нм были отгружены потребителям Intel в 2014 году.
История[править]
По состоянию на сентябрь 2014 TSMC продолжались разработки 16 нм техпроцесса на FinFET-транзисторах[en] и планировали начать 16 нм производство в 1 квартале 2015 года[1].
Согласно стратегии фирмы Intel уменьшение техпроцесса до 14 нм изначально ожидалось через год, после представления чипа Haswell; процессоры на новом техпроцессе будут использовать архитектуру с названием Broadwell. Для данной технологии фирма использовала трехмерные транзисторы Tri-Gate второго поколения[2].
Строительство завода Intel под названием Fab 42 в американском штате Аризона началось в середине 2011 года, а в эксплуатацию планировалось сдать в 2013 году. По заявлению Intel, он стал бы самым современным заводом по массовому выпуску компьютерных процессоров, используя 14-нанометровую технологию на основе 300-миллиметровых кремниевых пластин. Завод также стал бы первым массовым производством, совместимым с 450-мм пластинами.[3][4] В стройку планировалось вложить более $5 млрд. На момент запуска Fab 42 станет, по ожиданиям, одним из самых передовых в мире заводов по выпуску полупроводниковой продукции в больших объёмах.
В январе 2014 года Intel объявила о задержке открытия завода Fab 42[5]. Открытие завода планируется в IV квартале 2014 года, массовое производство в I квартале 2015 года[6].
По состоянию на май 2014 компания Samsung продолжает разработки техпроцессов 14 нм LPE/LPP[7]. В 2015 году Samsung будет выпускать процессоры для Apple по нормам 14 нм[8].
С апреля 2015 года компания Intel начала продажи 14-нм процессоров Celeron N3000, N3050, N3150 и Pentium N3700 (Braswell).[9]
Компания МЦСТ к 2020 году планирует выпускать 14-нм процессор Эльбрус-32С[10].
Особенности технологии[править]
Для критических слоев техпроцесса 14 нм Intel потребовалось применение масок с технологией Inverse Lithography (ILT) и SMO (Source Mask Optimization)[11].
Размеры 14-нанометровых транзисторов в микропроцессорах[править]
ITRS Logic Device Ground Rules |
Intel | Samsung / GF |
TSMC | |
---|---|---|---|---|
Название технологии | 16/14 нм | 14 нм | 14 нм | 16/12 нм |
Плотность транзисторов | N/A | 37.5 MTr / мм² | ||
Расстояние между затворами транзисторов | 70 нм | 70 нм (14 нм +) 84 нм (14 нм ++) |
70 нм (14 нм)78 нм | 88 нм |
Шаг межсоединений | 56 нм | 52 нм | 67 нм | 70 нм |
Расстояние между плавниками транзисторов | 42 нм | 42 нм | 49 нм | 45 нм |
Ширина плавника транзистора | 8 нм | 8 нм | 8 нм | Шаблон:Unk |
Высота плавника транзистора | 42 нм | 42 нм | ~38 нм | 37 нм |
См. также[править]
Примечания[править]
- ↑ TSMC начнёт 16 нм производство в 1 квартале 2015 года.
- ↑ 14-нанометровая технология Intel. Проверено 18 апреля 2019.
- ↑ A First Look at Intel’s 14nm Fab 42 Manufacturing Facility // January 25, 2012 by Douglas Perry — source: VLSI Research; на русском: Intel Fab 42: первые фото строящегося производства по созданию 14 нм процессоров. Цитата: «first volume production facility that is compatible with 450 mm wafers»
- ↑ Update: Intel to build fab for 14-nm chips // Mark LaPedus 2/18/2011 «Fab 42, will be a 300-mm plant. It will also be compatible for 450-mm»
- ↑ Intel cancels 14nm Fab 42 in Arizona, due to increasing competition from ARM. // ExtremeTech
- ↑ Intel postpones Broadwell availability to 4Q14
- ↑ TSMC, Samsung competing to roll out more advanced processes, DIGITIMES, 15 May 2014 (платн.)
- ↑ Samsung будет выпускать процессоры для Apple по нормам 14 нм. Архивная копия от 23 января 2018 на Wayback Machine Архивировано из первоисточника 2017-07-05. // iXBT.com
- ↑ Intel начинает продажи 14-нм процессоров Celeron N3000, N3050, N3150 и Pentium N3700 (Braswell) // 1.04.2015
- ↑ «Российские технологии «Эльбрус» для персональных компьютеров, серверов и суперкомпьютеров».
- ↑ V. Singh. EUV: The Computational Landscape EUVL Workshop, 2014 «ILT+SMO are used to sharpen the image of critical masks for 14nm and 10nm nodes»