Корона высокочастотная
Коро́на высокочасто́тная — высокочастотный коронный разряд, возникающий в резко неоднородном переменном электрическом поле с частотой Гц и выше[1].
Физические основы[править]
Высокочастотная корона представляет собой электрический разряд в газе под действием электрического поля высокой частоты — Гц и давлении, близком к атмосферному. При частотах возникновения высокочастотной короны учитываются изменение фазы электрического поля вдоль газового разряда и особенности распространения электромагнитных волн в среде. Ток в газовой плазме обеспечивается электронами.
По характеру образования высокочастотного напряжения различают два типа разрядов — ёмкостной и индукционный. Первый возникает в случае плоских электродов, расположенных наподобие плоского конденсатора, второй случай наблюдается, когда напряжение приложено от катушки индуктивности.
В ёмкостном типе разряда внешнее электрическое поле экранируется внутренним полем пространственного заряда, локализованным у одного из электродов; из-за этого в плазме протекают незначительные токи, а сама плазма является неравновесной. Тяжёлые ионы в переменном поле, в отличие от электронов, не успевают смещаться за один период изменения вектора напряжённости внешнего электрического поля, что приводит к образованию участка квазинейтральной плазмы. Однако, при достаточной мощности внешнего электрического поля ионы, бомбардируя материал анода, нагревают его до начала термоэлектронной эмиссии, которая обеспечивает ионизацию в газовом промежутке (называемом плазменным столбом).
При частоте электрического поля частотой Гц и выше, а также при достаточной энергии электрического поля, высокочастотная корона может перейти высоковольтную дугу, а затем и в факельный разряд.
В индукционном типе разряда существенную роль играет скин-эффект, при котором внешнее переменное электрическое поле экранируется, что приводит к возникновению высоких токов в газовом промежутке, а плазма носит равновесный характер.
Применение[править]
Высокочастотную корону используют в плазмотронах для получения низкотемпературной плазмы, нанесения плёнок и их травления, в микроэлектронике, плазмохимии, газовых лазерах, в качестве источников излучения (обычно видимого диапазона).
Примечания[править]
- ↑ Юрий Петрович Райзер Физика газового разряда. Изд. 3-ое, доп. и перераб.. — Долгопрудный: Издательский Дом «Интеллект», 2009. — 736 с.
Литература[править]
- Фюнфер Э., Нейерт Г. Счётчики излучений. — Москва : Государственное издательство литературы в области атомной науки и техники, 1961.
- Капцов Н. А. Коронный разряд и его применение в электрофильтрах. — Москва, Ленинград : Гостехиздат, 1947
- Левитов В. И. Корона переменного тока. Вопросы теории, методов исследования и практических характеристик — Москва : Энергия, 1975
- Райзер Ю. П. Физика газового разряда. — Москва : Наука, 1992
- Соколова М. В. Коронный разряд в газах // Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Т. 2 — Москва : Наука, 2000
- Кечиев Л. Н., Пожидаев Е. Д. Защита электронных средств от воздействия статического электричества. — Москва : Изд. дом «Технологии», 2005
Ссылки[править]
 | Одним из источников, использованных при создании данной статьи, является статья из википроекта «Рувики» («ruwiki.ru») под названием «Корона высокочастотная», расположенная по адресу:
Материал указанной статьи полностью или частично использован в Циклопедии по лицензии CC-BY-SA 4.0 и более поздних версий. Всем участникам Рувики предлагается прочитать материал «Почему Циклопедия?». |
|---|